比光学显微镜更精密的仪器主要包括电子显微镜、原子力显微镜（AFM）和超分辨显微镜。这些仪器在观察微观世界时提供了更高的分辨率和更丰富的信息。

电子显微镜（EM）： 电子显微镜使用电子束代替可见光来照亮样本。它包括透射电子显微镜（TEM）和扫描电子显微镜（SEM）。电子显微镜的分辨率通常比光学显微镜高出数千倍，能够观察到细胞、细胞器、蛋白质分子、病原体等微观结构。它在生物学、材料科学、纳米技术和病理学等领域有着广泛的应用。

原子力显微镜（AFM）： AFM是一种表面分析工具，用于观察和操作非导电材料表面的原子和分子尺度结构。与传统显微镜不同，AFM使用微小的探针（通常是针尖）来扫描样本表面。它的分辨率在纳米尺度，能够观察到原子层面的表面拓扑和力学性质。AFM在材料科学、生物学、纳米科学和纳米工程中非常有用。

超分辨显微镜： 超分辨显微镜是一类使用特殊技术来提高光学显微镜分辨率的仪器。这些技术包括激光光切割显微镜、结构光显微镜、单分子显微镜和螺旋阶梯显微镜等。它们允许研究人员在微观尺度下观察细胞器官、蛋白质、分子互动等。超分辨显微镜已经取得突破性的成就，赋予了科学家更深入的了解细胞和分子世界的能力。

这些仪器提供了更高的分辨率和更多的细节，使研究人员能够在微观尺度下更好地理解物质的性质和相互作用。它们在科学研究、医学诊断、材料科学和纳米技术等领域都发挥着不可或缺的作用。这些仪器的不断发展和创新将进一步推动我们对微观世界的探索。